1977年11月，中國科學院半導體所將“開展影響大規模集成電路成品率和可靠性主要因素的研究，為巨型計算機研制高質量、高水平的集成電路”列為重大科研項目。
半導體所的同志們夜以繼日地奮戰，然而，經過一年的攻關，在制作4千位MOS動態隨機存儲器時卻遇到瞭困難——成品率始終提高不上來，進展緩慢。
這時，一位科學傢臨危受命，僅用不到一年的時間，不僅解決瞭大規模集成電路的研制問題，還制定瞭科學嚴格的生產研發規章制度。他就是中國半導體科學奠基人之一、半導體器件物理學傢、中國科學院院士王守武。
王守武院士 來源丨中國科學傢博物館
1978年10月，王守武在科研環境不利的條件下接手工作，開始全面負責4千位MOS動態隨機存儲器的研制任務，猛攻成品率。 當時他就提出瞭“不僅要研制成功樣品，還要有一定的成品率”。
王守武首先分析瞭成品率低下的原因，然後有針對性地制定瞭解決方案。
剛著手時，他就遇到一個棘手問題——超凈區入口處的風淋浴室的門經常壞。
按照要求，每個工作人員進入超凈區前必須經過40秒鐘的風淋浴。但當時風淋浴室的門的質量不過關，經常發生故障，使人員總被閉鎖在風淋浴室裡，因此有人把自動控制門改為手動開關。雖然人員進出方便瞭，但是很難保證每人都能經過40秒鐘的風淋浴才進入超凈區。
王守武要求把自動控制門修好，但是電工班的修理人員束手無策。於是他就親自動手修理。經過分析，王守武發現故障主要發生在一個繼電器的接觸點上，是接觸材料沒有過關。於是他想到用白金來做接觸點材料，因為白金的熔點很高，在高溫下不易氧化。
果然，自從王守武把兩片白金焊接在接觸點上以後，自動門就再也沒有出現過故障。
1979年王守武在超凈線工作 來源丨中科院半導體研究所
王守武還堅持嚴格工藝檢查，他認為隻有每道工序都檢查，找毛病，解決問題後才能提高成品率。一開始，一些工人不習慣於嚴格操作，王守武為此做瞭大量的思想工作。 工作中，王守武更是以身作則，每天都是早來晚走，經常在超凈線內一待就是幾個小時甚至十幾個小時。
在他嚴謹的科研作風帶動下，超凈線裡的風氣煥然一新，科研人員各司其職，嚴格把關，工人認真操作，一絲不茍。 最終，研究團隊的努力取得瞭良好的效果，4千位N溝MOS動態隨機存儲器管芯的成品率終於有瞭大幅提高。
1979年9月28日，我國4千位MOS動態隨機存儲器研制成功，批量成品率達20%以上，最高達40%，為國內最高水平。
從1978年10月到1979年9月，王守武團隊共做出大規模集成電路三種版圖的樣品104個，從1979年10月到11月連續八批正式投片做出成品275個，獲得瞭20%以上的管芯成品率，並且進行瞭可靠性摸底試驗。
4千位MOS動態隨機存儲器研制成功這一重要突破，不僅在1980年榮獲中國科學院科技成果獎一等獎，更重要的是，結束瞭我國不能制造大規模集成電路的歷史！
來源丨中國科學傢博物館
熱愛祖國，為國奉獻的情懷貫穿瞭王守武的一生。就像他在11歲時刊登在校刊《民智》上面的話：“努力救國，努力富國，努力強國”。
參考資料：
[1]李艷平,康靜,尹曉冬.矽芯築夢：王守武傳[M]中國科學技術出版社，2015.1.
[2]中國半導體研究的“拓荒者”——記1979年全國勞動模范、中國科學院院士王守武[J].工會博覽,2019,(24):45-48.
來源：中國科學傢博物館
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